無(wú)塵烤箱常見(jiàn)故障及解決辦法

無(wú)塵烤箱即無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

一、溫度勻稱(chēng)性差

原因：

1、功率調(diào)配不正當(dāng)；

2、電熱部件路劫；

3、爐子構(gòu)造不正當(dāng)招致全部散熱過(guò)大；

4、爐子密封不L良，全部散熱能過(guò)大；

5、帶風(fēng)機(jī)的爐子氣體重復(fù)不勻稱(chēng)或者電力有余；

6、熱電偶裝置地位或者插人深淺使不得體現(xiàn)實(shí)正在溫度；

7、電熱部件散布不正當(dāng)；

8、爐底溫度偏偏低；

9、加熱電源缺相，安Q全絲斷。

處理辦法：

1、從新打算改良功率配置；

2、改換路劫的電熱部件；

3、改良爐子構(gòu)造或者改良結(jié)冰辦法；

4、審查爐子密封，消弭密封不L良要素；

5、正當(dāng)安放作件，增微風(fēng)機(jī)的電力；

6、正當(dāng)取舍熱電偶裝置地位或者插人深淺；

7、調(diào)動(dòng)電熱部件散布；

8、增大爐底加熱功率；

9、審查加熱電源通路。

二、溫度控制失效

原因：

1、溫度量具受到干擾；

2、熱電偶信號(hào)受到干擾；

3、熱電偶接觸不L良；

4、彌補(bǔ)導(dǎo)線短路或者路劫；

5、熱電偶距電熱部件太近；

6、溫度控制回路發(fā)作故障；

7、熱電偶遭到了侵蝕，電特點(diǎn)發(fā)作了變遷；

8、熱電偶對(duì)于地，掩護(hù)管絕緣升高；

處理辦法：

1、采取措施消弭攪擾源；

2、對(duì)于信號(hào)線增多屏障；

3、緊固熱電偶接報(bào)端子；

4、審查彌補(bǔ)導(dǎo)線；

5、調(diào)動(dòng)兩者間的間隔；

6、培修溫度控制回路；

7、改換熱電偶；

8、審查熱電偶絕緣狀況；

三、溫度顯現(xiàn)值偏低

原因：

1、熱電偶參考端溫度太高；

2、熱電偶柵極漏電；

3、熱電偶柵極蛻變；

4、熱電偶丈量地位太遠(yuǎn)；

5、彌補(bǔ)導(dǎo)線與熱電偶不匹配；

6、彌補(bǔ)導(dǎo)線與熱電偶極性接反；

7、彌補(bǔ)導(dǎo)線絕緣升高

處理辦法：

1、審查參考端溫度，應(yīng)相符請(qǐng)求；

2、審查柵極、接報(bào)聯(lián)接；

3、改換熱電偶；

4、調(diào)動(dòng)丈量地位；

5、改換彌補(bǔ)導(dǎo)線；

6、準(zhǔn)確聯(lián)接彌補(bǔ)導(dǎo)線；

7、改換彌補(bǔ)導(dǎo)線；

四、溫度顯現(xiàn)平衡固

原因：

1、熱電偶柵極接觸不L良；

2、熱電偶有斷續(xù)短路或者路劫；

3、熱電偶有斷續(xù)接地；

4、熱電偶地位一直變遷；

5、彌補(bǔ)導(dǎo)線有接地、斷續(xù)短路或者路劫；

6、溫度顯現(xiàn)量具故障；

處理辦法：

1、從新聯(lián)接熱電偶；

2、審查熱電偶消弭故障點(diǎn)或者改換；

3、消弭接地方；

4、流動(dòng)好熱電偶；

5、審查彌補(bǔ)導(dǎo)線，消弭故障點(diǎn)；

6、培修或者改換溫度顯現(xiàn)表。